一、產(chǎn)品概述

核心定位

1. MFM 模式：僅實(shí)時(shí)采集氣體質(zhì)量流量，無調(diào)節(jié)輸出；

2. MFC 模式：內(nèi)置寶德直動(dòng)比例閥 + 集成 PI 調(diào)節(jié)器，自動(dòng)閉環(huán)控流；

3. 支持 büS/Canopen 雙協(xié)議一鍵切換，搭配 ME43 網(wǎng)關(guān)可轉(zhuǎn) Profinet、EtherNet/IP、Modbus TCP 等主流工業(yè)以太網(wǎng)，單網(wǎng)關(guān)最多掛載 32 臺(tái) 8742。

二、測量工作原理

1. 主通路內(nèi)置層流分流元件，小部分氣體分流至內(nèi)置硅芯片傳感副通道；

2. 芯片集成加熱電阻 + 上下游兩支溫度傳感；

3. 恒定功率加熱氣流，上下游溫差與氣體質(zhì)量流量線性對(duì)應(yīng)；

4. 芯片信號(hào)內(nèi)置數(shù)字化補(bǔ)償，設(shè)備存儲(chǔ)最多 4 條氣體校準(zhǔn)曲線，切換介質(zhì)無需重新標(biāo)定。

三、核心產(chǎn)品優(yōu)勢

1. 超寬量程 + 微量適配

   標(biāo)準(zhǔn)量程 0.01~160 lN/min（氮?dú)饣鶞?zhǔn)），量程比 50:1，可選 100:1，氫氣、氦氣最高支持 1000 lN/min 微量大流量全覆蓋。

2. 高精度、極速響應(yīng)、長期穩(wěn)定

   測量精度 ±0.5% FS，重復(fù)性 ±0.2% FS；毫秒級(jí)響應(yīng)，校準(zhǔn)曲線長期無漂移，減少年度復(fù)檢頻次；標(biāo)配存儲(chǔ)卡，整機(jī)更換一鍵導(dǎo)入?yún)?shù)，免現(xiàn)場重新標(biāo)定。

3. 一體集成閉環(huán)控制

   搭載寶德原廠直動(dòng)式比例閥，搭配內(nèi)置 PI 控制器，無外置二次儀表，控流線性度優(yōu)異，小流量無振蕩、大流量調(diào)節(jié)平穩(wěn)。

4. 多通訊兼容，數(shù)字化產(chǎn)線適配

   雙版本可選：模擬信號(hào)版（4-20mA/0-10V）、純 Canopen/büS 數(shù)字總線版；適配自動(dòng)化產(chǎn)線、多通道測試平臺(tái)集中控制。

5. 多認(rèn)證，適配嚴(yán)苛工況

• 防爆：可選 ATEX II 3G/D 防爆認(rèn)證；

• 衛(wèi)生：USP VI、FDA、EC 1935 食品制藥合規(guī)；

• 防護(hù)：IP65/IP67 高防護(hù)，耐粉塵、水汽；

6. 多介質(zhì)兼容

   空氣、氮?dú)狻⒀鯕狻錃狻⒑狻鍤狻⒍趸肌⒓淄椤⒈椤⒁胰驳冉^大多數(shù)工業(yè)工藝氣體。

7. 易維護(hù)、模塊化

   傳感與閥體模塊化結(jié)構(gòu)，存儲(chǔ)卡備份全部標(biāo)定、通訊、PID 參數(shù)，設(shè)備故障替換 5 分鐘恢復(fù)生產(chǎn)。

四、完整技術(shù)參數(shù)表

五、標(biāo)準(zhǔn)配套組合方案

1. 閥體配套：6011/6013/6027 直動(dòng)閥、0330 二位三通換向閥；

2. 通訊配套：ME43 工業(yè)總線網(wǎng)關(guān)、ME63 以太網(wǎng)網(wǎng)關(guān)；

3. 配件：Micro SD 參數(shù)存儲(chǔ)卡、BUplus 調(diào)試服務(wù)工具；

六、主流應(yīng)用行業(yè)場景

1. 新能源氫能：燃料電池電堆測試、制氫、氫燃料配比、氫氣稀釋配比；

2. 制藥 / 生物發(fā)酵：發(fā)酵罐氧氣 / 氮?dú)獯祾摺o菌氣體配比、USP 衛(wèi)生工藝；

3. 半導(dǎo)體 / 電子：晶圓鍍膜、等離子清洗、特種工藝氣體精準(zhǔn)配比；

4. 熱工 / 材料加工：玻璃熔融、金屬熱處理、氣氛燒結(jié)保護(hù)氣控制；

5. 實(shí)驗(yàn)室測試臺(tái)：燃燒試驗(yàn)、氣體混合標(biāo)定、環(huán)境模擬艙；

6. 包裝灌裝：惰性氣體置換、保鮮氣精準(zhǔn)填充；

7. 化工精細(xì)工藝：微量反應(yīng)氣體投料、催化實(shí)驗(yàn)流量閉環(huán)控制。

七、選型注意事項(xiàng)

1. 區(qū)分需求：僅監(jiān)測選 MFM，需要自動(dòng)調(diào)節(jié)流量選 MFC；

2. 介質(zhì)選型：氧氣工況必須限定介質(zhì)溫度，易燃易爆氣體選配 ATEX 防爆款；

3. 通訊選型：單機(jī)簡易控制選 4-20mA 模擬；多通道自動(dòng)化產(chǎn)線選 Canopen 數(shù)字總線；

4. 量程匹配：按實(shí)際最大工況流量 ×1.2 選型，避免長期滿量程降低壽命；

5. 衛(wèi)生場景：制藥食品行業(yè)需確認(rèn) USP VI/FDA 認(rèn)證版本。