一、產品概述

• MFM 模式：純質量流量測量（流量計）；

• MFC 模式：測量 + 閉環自動流量調節（流量控制器）。

  設備專為干燥潔凈工藝氣體設計，集成硅基 MEMS 傳感芯片、寶德自研直動比例閥、內置高速 PI 調節器，具備高精度、快響應、多氣體免返廠標定、總線集中組網能力，是實驗室、半導體、新能源、制藥、熱處理行業主流高精度供氣元件。

二、核心測量原理

1. 主氣流經過精密層流分流結構，按固定比例分流小部分氣體進入傳感副通道；

2. 副通道內置一體化硅基芯片：1 個恒溫加熱電阻 + 上下游 2 支高精度測溫傳感器；

3. 恒定功率加熱氣流，氣體流速越大，上下游溫差差值越大，溫差與氣體質量流量呈精準線性關系；

4. 芯片內置數字化溫壓自動補償，機身可儲存4 組獨立氣體校準曲線，切換氫氣、氮氣、氧氣、氬氣等介質，現場一鍵切換曲線，無需返廠重新標定。

三、結構組成

1. 傳感單元：原位氣流 MEMS 熱傳感芯片，抗震動、長期校準穩定；

2. 執行閥體：寶德 2871/2873 直動式常閉比例閥，響應靈敏、線性調節平穩；

3. 控制單元：集成高速 PI 閉環控制器、流量累計器、故障診斷模塊；

4. 通訊接口：模擬量接口 /büS (CANopen) 數字總線接口二選一；

5. 道閥體：標準 316L 不銹鋼流道，可選防腐、衛生級材質。

四、核心技術參數（氮氣為基準）

1. 流量量程

• 常規量程：0.01~160 LN/min

• 量程比：標準 1:50，可選 1:100 超寬量程；微量、中小流量全覆蓋。

2. 精度與響應

• 測量精度：±0.8% 測量讀數 (RD)+±0.3% 滿量程 (FS)；

• 重復性：±0.1% FS；

• 穩定時間：預熱 60s 穩定工作；

• 響應速度 t95：＜300ms；

• 零點：長期穩定，日常無需頻繁校零。

3. 工況參數

• 介質：潔凈干燥氣體（N?、O?、Ar、H?、CO?、空氣、惰性氣體）；

• 工作壓力：最大耐壓 6bar，常規工作壓力 0~3bar；

• 環境溫度：-10℃ ~ +50℃；介質溫度≤60℃；

• 防護等級：IP65；

• 功耗：常規 5.5W，峰值 9W。

4. 電氣通訊

模擬量版本

• 輸入給定：0~5V、0~10V、4~20mA；

• 流量反饋：0~5V、0~10V、4~20mA。

數字總線版本

• 原生：büS 總線、CANopen；

• 拓展：搭配 ME43 網關，可轉 Profinet、EtherNet/IP、Modbus-RTU 等全工業以太網；

• 組網：單 ME43 網關最多掛載32 臺 8742集中控制。

5. 材質與認證

• 潤濕材質：標準 316L 不銹鋼；

• 可選認證：ATEX 防爆（II3G/3D）、FDA、USP Class VI 制藥衛生認證、EC1935 食品認證、CE、UL。

五、產品核心優勢

1. 一機兩用：MFM 測量、MFC 控制一鍵切換，備貨、選型簡化，降低采購成本；

2. 多氣體儲存：4 條校準曲線現場調用，換氣體不用寄回廠家標定，節省工期；

3. 抗干擾穩定：溫壓自動補償，管道壓力波動、溫度變化不影響測量精度；

4. 控制順滑：寶德原廠比例閥 + 內置 PI 算法，流量無超調、無震蕩，配比精度高；

5. 便捷組網：總線多機組網，適配自動化產線集中控制，布線簡潔；

6. 易維護替換：搭配配置記憶卡，設備故障可一鍵遷移參數，快速更換備件；配套免費 Burkert Communicator 電腦調試軟件，遠程查看診斷、修改參數；

7. 耐用免維護：無機械磨損結構，正常工況可連續數年穩定運行。

六、主流應用行業

1. 新能源氫能：燃料電池電堆測試、氫氣配比、制氫、儲氫管路精準控流；

2. 半導體 / 光伏：CVD/PVD 鍍膜、刻蝕工藝氬氣、氮氣、特種工藝氣供給；

3. 生物制藥：發酵罐 O?/CO?曝氣、無菌氣體輸送，GMP 潔凈工況；

4. 冶金熱處理：滲碳、退火爐保護氣配比、氣氛爐精準供氣；

5. 實驗室科研：氣體配比儀、催化試驗臺、氣相色譜、燃燒標定設備；

6. 玻璃、電子、包裝：鍍膜燒結、檢漏、高速灌裝保護氣控制。

七、選型與安裝使用注意事項

1. 介質要求：必須干燥無油、無粉塵，雜質氣體前端加裝精密過濾器，防止堵塞 MEMS 傳感通道；

2. 高危介質：氧氣管路全程禁油脂；氫氣高壓工況提前確認耐壓規格；

3. 安裝：水平安裝優先，避免劇烈震動，安裝前吹掃管路；

4. 組網：多通道自動化產線優先選擇 CANopen 總線版本；

5. 校準：日常無需校零，僅更換氣體、長期閑置后調用內置曲線即可。

八、配套配件

1. ME43 總線網關：CANopen 轉各類工業以太網；

2. 配置記憶卡：參數備份、設備快速替換；

3. Burkert Communicator 調試軟件：參數設置、故障診斷、曲線查看；

4. 前置精密過濾器、防爆接頭、衛生卡箍接頭。

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